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Wafer 正反面(miàn)檢測

Wafer 的正面(miàn)存在網格狀,反面(miàn)側是無任何圖像的鏡面(miàn),所以反面(miàn)的像素會明顯低于正面(miàn)有圖案的部分,首次使用時需要對(duì)Wafer 反面(miàn)進(jìn)行拍照登陸,并設定一個像素範圍,接收到機台請求識别信号後(hòu)相機進(jìn)行拍照并對(duì)圖像進(jìn)行像素二值化處理,然後(hòu)比較第一次登陸時的像素範圍, 不在标準像素範圍内側說明是正面(miàn)。


産品詳情

方案構成(chéng):

此方案由CCD 相機,鏡頭,圖像處理器,光源,光源控制器,信号控制器,通信模塊組成(chéng)。

識别原理:

Wafer 的正面(miàn)存在網格狀,反面(miàn)側是無任何圖像的鏡面(miàn),所以反面(miàn)的像素會明顯低于正面(miàn)有圖案的部分,首次使用時需要對(duì)Wafer 反面(miàn)進(jìn)行拍照登陸,并設定一個像素範圍,接收到機台請求識别信号後(hòu)相機進(jìn)行拍照并對(duì)圖像進(jìn)行像素二值化處理,然後(hòu)比較第一次登陸時的像素範圍, 不在标準像素範圍内側說明是正面(miàn)。

屏幕快照 2022-07-11 下午7.15.24.png

連接示意圖:

屏幕快照 2022-07-11 下午7.15.02.png

工作流程:

通信模塊接收到機台信号後(hòu)信号控制器控制相機進(jìn)行拍照并交由圖像處理器進(jìn)行圖像處理,處理完成(chéng)後(hòu)通知信号控制器通過(guò)通信模塊反饋給機台處理結果,如果檢測到反面(miàn)機台發(fā)生停機報警。